基于六苯基苯硫醚的硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202211035734.4
申请日
2022-08-26
公开(公告)号
CN117658881A
公开(公告)日
2024-03-08
发明(设计)人
李嫕 苑晓冬 陈金平 于天君 曾毅
申请人
中国科学院理化技术研究所
申请人地址
100190 北京市海淀区中关村东路29号
IPC主分类号
C07C381/12
IPC分类号
G03F7/004
代理机构
北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535
代理人
谢蓉;黄海丽
法律状态
公开
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
基于多硫鎓盐的单分子树脂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
王亚珂 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN117658882A ,2024-03-08
[2]
基于金刚烷的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
李嫕 ;
刘卓然 ;
陈金平 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN117658880A ,2024-03-08
[3]
基于多硫鎓盐的单分子树脂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
王亚珂 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN117659073A ,2024-03-08
[4]
基于四苯基锡的单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
陈金平 ;
王志昊 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN118812583A ,2024-10-22
[5]
含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
陈金平 ;
彭蓉蓉 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN118702604A ,2024-09-27
[6]
含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
陈金平 ;
彭蓉蓉 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN118702604B ,2024-11-22
[7]
硫鎓盐修饰的二茂金属化合物单分子树脂及其光刻胶 [P]. 
李嫕 ;
王慧宁 ;
陈金平 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN119504877A ,2025-02-25
[8]
基于硫杂杯芳烃的单分子树脂光刻胶 [P]. 
陈金平 ;
王志昊 ;
李嫕 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN117658979A ,2024-03-08
[9]
含硅多苯基硫鎓盐单分子树脂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
王亚珂 ;
李嫕 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN115850316B ,2025-09-16
[10]
基于硫鎓盐的单分子树脂产酸剂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
李嫕 ;
张卫杰 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN111978228A ,2020-11-24