硫鎓盐修饰的二茂金属化合物单分子树脂及其光刻胶

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311085127.3
申请日
2023-08-25
公开(公告)号
CN119504877A
公开(公告)日
2025-02-25
发明(设计)人
李嫕 王慧宁 陈金平 于天君 曾毅
申请人
中国科学院理化技术研究所
申请人地址
100190 北京市海淀区中关村东路29号
IPC主分类号
C07F17/00
IPC分类号
C07F17/02 C07C309/06 C07C309/30 C07C303/32 C07C381/12 G03F7/004 G03F7/038 G03F7/039
代理机构
北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535
代理人
黄海丽;谢蓉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
基于多个二茂金属基团修饰的单分子树脂及其光刻胶 [P]. 
李嫕 ;
王慧宁 ;
陈金平 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN119504876A ,2025-02-25
[2]
基于多硫鎓盐的单分子树脂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
王亚珂 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN117658882A ,2024-03-08
[3]
基于多硫鎓盐的单分子树脂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
王亚珂 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN117659073A ,2024-03-08
[4]
基于六苯基苯硫醚的硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
李嫕 ;
苑晓冬 ;
陈金平 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN117658881A ,2024-03-08
[5]
含硅多苯基硫鎓盐单分子树脂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
王亚珂 ;
李嫕 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN115850316B ,2025-09-16
[6]
基于硫鎓盐的单分子树脂产酸剂及其光刻胶组合物 [P]. 
陈金平 ;
李嫕 ;
张卫杰 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN111978228A ,2020-11-24
[7]
基于金刚烷的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
李嫕 ;
刘卓然 ;
陈金平 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN117658880A ,2024-03-08
[8]
基于硫杂杯芳烃的单分子树脂光刻胶 [P]. 
陈金平 ;
王志昊 ;
李嫕 ;
于天君 ;
曾毅 .
中国专利 :CN117658979A ,2024-03-08
[9]
一种二茂金属化合物的分子玻璃光刻胶及其制备方法 [P]. 
曾伟 .
中国专利 :CN114442429A ,2022-05-06
[10]
含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
陈金平 ;
彭蓉蓉 ;
李嫕 ;
曾毅 ;
于天君 .
中国专利 :CN118702604A ,2024-09-27