一种二茂金属化合物的分子玻璃光刻胶及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202210147575.0

申请日：

2022-02-17

公开(公告)号：

CN114442429A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

曾伟

申请人：

申请人地址：

226661 江苏省南通市海安市曲塘镇双工路29号

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

C07J900

代理机构：

连云港中联润智专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32572

代理人：

严敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20220217
2022-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

硫鎓盐修饰的二茂金属化合物单分子树脂及其光刻胶 [P].

李嫕 ;

王慧宁 ;

陈金平 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN119504877A ,2025-02-25

[2]

一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法 [P].

曾伟 .

中国专利 :CN114721221A ,2022-07-08

[3]

基于二茂金属化合物的光刻胶及其制备方法和应用 [P].

杨国强 ;

玉佳婷 ;

陈龙 ;

王亚飞 ;

郭旭东 ;

胡睿 ;

王双青 .

中国专利 :CN112830944B ,2021-05-25

[4]

一种环糊精包合物分子玻璃光刻胶 [P].

曾伟 .

中国专利 :CN114779577A ,2022-07-22

[5]

一种星型分子玻璃成膜树脂与光刻胶及其制备方法 [P].

曾伟 .

中国专利 :CN115685678A ,2023-02-03

[6]

一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物 [P].

曾伟 .

中国专利 :CN114874384A ,2022-08-09

[7]

基于多个二茂金属基团修饰的单分子树脂及其光刻胶 [P].

李嫕 ;

王慧宁 ;

陈金平 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN119504876A ,2025-02-25

[8]

茂金属化合物及其制备方法 [P].

金世英 ;

赵敏硕 ;

金大桓 ;

李承珉 ;

朴成镐 ;

李琪树 ;

洪福基 ;

李龙湖 ;

赵京珍 ;

韩彰完 ;

朴珍映 .

中国专利 :CN105518033B ,2016-04-20

[9]

茂金属化合物及其制备方法 [P].

朴兰花 ;

全成海 ;

李泫承 ;

郑东旭 .

中国专利 :CN107849079A ,2018-03-27

[10]

茂金属化合物的制备方法 [P].

L·雷斯科尼 ;

D·巴尔波尼 ;

G·普里尼 .

中国专利 :CN1255925A ,2000-06-07

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