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一种星型分子玻璃成膜树脂与光刻胶及其制备方法
被引:0
申请号
:
CN202211495808.2
申请日
:
2022-11-26
公开(公告)号
:
CN115685678A
公开(公告)日
:
2023-02-03
发明(设计)人
:
曾伟
申请人
:
申请人地址
:
226600 江苏省南通市海安市曲塘镇双工路29号
IPC主分类号
:
G03F7004
IPC分类号
:
C08G7306
代理机构
:
连云港中联润智专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32572
代理人
:
陆军
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2023-02-03
公开
公开
共 50 条
[1]
一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法
[P].
曾伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
曾伟
.
中国专利
:CN114721221A
,2022-07-08
[2]
一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物
[P].
曾伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
曾伟
.
中国专利
:CN114874384A
,2022-08-09
[3]
一种二茂金属化合物的分子玻璃光刻胶及其制备方法
[P].
曾伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
曾伟
.
中国专利
:CN114442429A
,2022-05-06
[4]
一种环糊精包合物分子玻璃光刻胶
[P].
曾伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
曾伟
.
中国专利
:CN114779577A
,2022-07-22
[5]
一种星型ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物
[P].
季生象
论文数:
0
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0
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季生象
;
李小欧
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李小欧
;
刘亚栋
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刘亚栋
;
顾雪松
论文数:
0
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顾雪松
.
中国专利
:CN113219789A
,2021-08-06
[6]
一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法
[P].
季生象
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季生象
;
顾雪松
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顾雪松
;
刘亚栋
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刘亚栋
;
李小欧
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李小欧
.
中国专利
:CN113214428B
,2021-08-06
[7]
光刻胶成膜树脂及其制备方法
[P].
刘陆
论文数:
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刘陆
;
薛建设
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薛建设
;
惠官宝
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0
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惠官宝
.
中国专利
:CN102890418B
,2013-01-23
[8]
一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物
[P].
季生象
论文数:
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0
季生象
;
刘亚栋
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刘亚栋
;
李小欧
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李小欧
;
顾雪松
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顾雪松
.
中国专利
:CN113214429B
,2021-08-06
[9]
一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶
[P].
刘敬成
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0
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刘敬成
;
纪昌炜
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纪昌炜
;
刘仁
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刘仁
;
袁妍
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袁妍
;
刘晓亚
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0
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刘晓亚
.
中国专利
:CN108084331A
,2018-05-29
[10]
一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法
[P].
季生象
论文数:
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季生象
;
刘亚栋
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刘亚栋
;
李小欧
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李小欧
;
顾雪松
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顾雪松
.
中国专利
:CN113214427B
,2021-08-06
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