一种星型分子玻璃成膜树脂与光刻胶及其制备方法

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申请号
CN202211495808.2
申请日
2022-11-26
公开(公告)号
CN115685678A
公开(公告)日
2023-02-03
发明(设计)人
曾伟
申请人
申请人地址
226600 江苏省南通市海安市曲塘镇双工路29号
IPC主分类号
G03F7004
IPC分类号
C08G7306
代理机构
连云港中联润智专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32572
代理人
陆军
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法 [P]. 
曾伟 .
中国专利 :CN114721221A ,2022-07-08
[2]
一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物 [P]. 
曾伟 .
中国专利 :CN114874384A ,2022-08-09
[3]
一种二茂金属化合物的分子玻璃光刻胶及其制备方法 [P]. 
曾伟 .
中国专利 :CN114442429A ,2022-05-06
[4]
一种环糊精包合物分子玻璃光刻胶 [P]. 
曾伟 .
中国专利 :CN114779577A ,2022-07-22
[5]
一种星型ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物 [P]. 
季生象 ;
李小欧 ;
刘亚栋 ;
顾雪松 .
中国专利 :CN113219789A ,2021-08-06
[6]
一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
季生象 ;
顾雪松 ;
刘亚栋 ;
李小欧 .
中国专利 :CN113214428B ,2021-08-06
[7]
光刻胶成膜树脂及其制备方法 [P]. 
刘陆 ;
薛建设 ;
惠官宝 .
中国专利 :CN102890418B ,2013-01-23
[8]
一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物 [P]. 
季生象 ;
刘亚栋 ;
李小欧 ;
顾雪松 .
中国专利 :CN113214429B ,2021-08-06
[9]
一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶 [P]. 
刘敬成 ;
纪昌炜 ;
刘仁 ;
袁妍 ;
刘晓亚 .
中国专利 :CN108084331A ,2018-05-29
[10]
一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
季生象 ;
刘亚栋 ;
李小欧 ;
顾雪松 .
中国专利 :CN113214427B ,2021-08-06