一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110466735.3

申请日：

2021-04-28

公开(公告)号：

CN113214427B

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

季生象刘亚栋李小欧顾雪松

申请人：

申请人地址：

510530 广东省广州市黄埔区连云路388号

IPC主分类号：

C08F22018

IPC分类号：

C08F22028 C08F22032 C08F22038 G03F7004

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

宫爱鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	公开	公开
2021-10-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C08F 220/18 变更事项:申请人变更前:中科院长春应化所黄埔先进材料研究院变更后:广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院变更事项:地址变更前:510530 广东省广州市黄埔区连云路388号变更后:510530 广东省广州市黄埔区连云路388号
2022-04-12	授权	授权
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 220/18 申请日:20210428

共 50 条

[1]

一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物 [P].

季生象 ;

刘亚栋 ;

李小欧 ;

顾雪松 .

中国专利 :CN113214429B ,2021-08-06

[2]

一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法 [P].

季生象 ;

顾雪松 ;

刘亚栋 ;

李小欧 .

中国专利 :CN113214428B ,2021-08-06

[3]

一种星型ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物 [P].

季生象 ;

李小欧 ;

刘亚栋 ;

顾雪松 .

中国专利 :CN113219789A ,2021-08-06

[4]

光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法 [P].

李永斌 ;

何龙龙 .

中国专利 :CN112679653B ,2021-04-20

[5]

一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶 [P].

刘敬成 ;

纪昌炜 ;

刘仁 ;

袁妍 ;

刘晓亚 .

中国专利 :CN108084331A ,2018-05-29

[6]

一种光刻胶组合物及其制备方法 [P].

顾大公 ;

马潇 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN110058489A ,2019-07-26

[7]

一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物 [P].

曾伟 .

中国专利 :CN114874384A ,2022-08-09

[8]

一种光刻胶成膜树脂和光刻胶组合物及其制备方法和应用 [P].

李禾禾 ;

王静 ;

毛鸿超 ;

曾成财 ;

王雪枫 ;

宋里千 ;

安辉 ;

赵永红 .

中国专利 :CN120737249A ,2025-10-03

[9]

光刻胶成膜树脂及其制备方法 [P].

刘陆 ;

薛建设 ;

惠官宝 .

中国专利 :CN102890418B ,2013-01-23

[10]

一种光刻胶组合物及其制备方法 [P].

罗启祥 ;

高梁 .

中国专利 :CN120704061A ,2025-09-26

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