一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711164056.0

申请日：

2017-11-21

公开(公告)号：

CN108084331A

公开(公告)日：

2018-05-29

发明(设计)人：

刘敬成纪昌炜刘仁袁妍刘晓亚

申请人：

申请人地址：

214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号

IPC主分类号：

C08F22028

IPC分类号：

C08F21214 G03F7004

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

聂启新

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-29	公开	公开
2018-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 220/28 申请日:20171121
2019-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法 [P].

季生象 ;

刘亚栋 ;

李小欧 ;

顾雪松 .

中国专利 :CN113214427B ,2021-08-06

[2]

一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法 [P].

季生象 ;

顾雪松 ;

刘亚栋 ;

李小欧 .

中国专利 :CN113214428B ,2021-08-06

[3]

一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物 [P].

曾伟 .

中国专利 :CN114874384A ,2022-08-09

[4]

深紫外负性光刻胶及其成膜树脂 [P].

冉瑞成 ;

沈吉 ;

庄学军 .

中国专利 :CN1818781A ,2006-08-16

[5]

深紫外正性光刻胶及其成膜树脂 [P].

冉瑞成 ;

沈吉 ;

庄学军 .

中国专利 :CN1818782A ,2006-08-16

[6]

光刻胶成膜树脂及其制备方法 [P].

刘陆 ;

薛建设 ;

惠官宝 .

中国专利 :CN102890418B ,2013-01-23

[7]

光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法 [P].

李永斌 ;

何龙龙 .

中国专利 :CN112679653B ,2021-04-20

[8]

含倍半萜的成膜树脂及其正性248nm光刻胶 [P].

冉瑞成 ;

沈吉 ;

贺宝元 ;

吴俊 .

中国专利 :CN103387636A ,2013-11-13

[9]

一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物 [P].

季生象 ;

刘亚栋 ;

李小欧 ;

顾雪松 .

中国专利 :CN113214429B ,2021-08-06

[10]

一种聚对羟基苯乙烯类光刻胶成膜树脂及其制备方法 [P].

易荣 ;

李政 ;

邓明帅 .

中国专利 :CN119613591B ,2025-09-30

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