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加热盘及薄膜沉积设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322112601.9
申请日：
2023-08-07
公开(公告)号：
CN220788780U
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
尹晶 吴凤丽 关帅 申思
申请人：
拓荆科技(上海)有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室
IPC主分类号：
C23C16/46
IPC分类号：
C23C16/52
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐迪
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-01-24 著录事项变更 著录事项变更IPC(主分类):C23C 16/46变更事项:发明人变更前:尹晶 吴凤丽 关帅 申思变更后:尹晶 吴凤丽 关帅
2024-04-16 授权 授权
共 50 条
[1]
加热盘及薄膜沉积设备 [P]. 
毕孝楠 ;
张亚新 ;
阚金卓 .
中国专利 :CN223414042U ,2025-10-03
[2]
加热盘、薄膜沉积设备及薄膜沉积方法 [P]. 
刘振 ;
吴凤丽 .
中国专利 :CN116970930B ,2025-09-05
[3]
加热盘及薄膜沉积设备 [P]. 
毕孝楠 ;
张亚新 ;
阚金卓 .
中国专利 :CN119252771A ,2025-01-03
[4]
一种加热盘及薄膜沉积设备 [P]. 
阚金卓 ;
陈新益 ;
张亚新 ;
毕孝楠 .
中国专利 :CN221956193U ,2024-11-05
[5]
加热盘、薄膜沉积设备及薄膜沉积设备组装方法 [P]. 
刘振 ;
吴凤丽 .
中国专利 :CN118360594A ,2024-07-19
[6]
加热盘驱动装置及薄膜沉积设备 [P]. 
陈兴攀 ;
关帅 ;
吴凤丽 .
中国专利 :CN120400807A ,2025-08-01
[7]
加热盘的控制装置、方法及薄膜沉积设备 [P]. 
李丹 .
中国专利 :CN120536905A ,2025-08-26
[8]
加热盘及其制备方法及薄膜沉积设备 [P]. 
阚金卓 .
中国专利 :CN119710647A ,2025-03-28
[9]
散热装置、加热盘及薄膜沉积设备 [P]. 
杜志杰 ;
郭东 .
中国专利 :CN119725167A ,2025-03-28
[10]
一种加热盘及薄膜沉积设备 [P]. 
齐海军 .
中国专利 :CN119710648A ,2025-03-28
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