具有改良孔结构的抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280041480.9

申请日：

2022-01-21

公开(公告)号：

CN117545593A

公开(公告)日：

2024-02-09

发明(设计)人：

斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘乌马·斯利德哈尔骆英东阿什温·乔卡林格马尤·亚玛木拉塞巴斯蒂安·戴维·罗索丹尼尔·雷德菲尔德拉杰夫·巴贾奈格·B·帕蒂班德拉浩·T·黃苏达卡尔·马杜苏达南

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

B24D11/00

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-09	公开	公开
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24D 11/00申请日:20220121

共 50 条

[1]

具有互连孔的抛光垫 [P].

希扬·阿卡兰卡·贾亚纳特·韦瓦拉·戈纳加哈德尼亚 ;

阿什温·乔卡林格 ;

贾森·G·冯 ;

维拉·拉哈瓦·雷迪·卡基雷迪 ;

南丹·巴拉达纳哈里·肯查帕 ;

普尼特·纳伦德拉·贾瓦利 ;

拉杰夫·巴贾 .

美国专利 :CN117729986A ,2024-03-19

[2]

双孔结构抛光垫 [P].

D·B·詹姆斯 ;

H·桑福德-克兰 .

中国专利 :CN102029577A ,2011-04-27

[3]

具有填充的无孔副垫的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179337A ,2025-12-23

[4]

具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫 [P].

G.弗图 ;

A.卡恩纳 ;

R.瓦卡西 .

中国专利 :CN105474366A ,2016-04-06

[5]

具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫 [P].

G.弗图 ;

A.卡恩纳 ;

R.瓦卡西 .

中国专利 :CN107520743A ,2017-12-29

[6]

具有带槽和孔的抛光垫的抛光装置 [P].

鸟井康司 .

中国专利 :CN1151342A ,1997-06-11

[7]

抛光垫扎孔设备及抛光垫扎孔方法 [P].

刘福成 ;

何昆哲 ;

华千慧 .

中国专利 :CN114714265A ,2022-07-08

[8]

具有垫磨损指示器的抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

M·R·加丁科 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

侯冠华 .

中国专利 :CN109794849A ,2019-05-24

[9]

具有孔口的抛光垫 [P].

W·C·阿里森 ;

D·斯科特 ;

R·巴贾杰 .

中国专利 :CN103796797B ,2014-05-14

[10]

具有窗口的抛光垫及其制造方法 [P].

傅博诣 ;

S·嘎纳帕西亚潘 ;

D·莱德菲尔德 ;

R·巴贾杰 ;

A·乔卡里汉 ;

D·J·本韦格努 ;

M·D·科尔内霍 ;

M·山村 ;

N·B·帕蒂班德拉 ;

A·沃兰 .

中国专利 :CN110997232B ,2020-04-10

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