具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480046528.0

申请日：

2014-08-21

公开(公告)号：

CN105474366A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

G.弗图 A.卡恩纳 R.瓦卡西

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺伊州

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

宋莉

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	公开	公开
2018-12-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/304 申请公布日:20160406
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658487207 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2014800465280 申请日:20140821

共 50 条

[1]

具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫 [P].

G.弗图 ;

A.卡恩纳 ;

R.瓦卡西 .

中国专利 :CN107520743A ,2017-12-29

[2]

具有填充的无孔副垫的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179337A ,2025-12-23

[3]

带有具有设计的开放空隙空间的突起结构的CMP抛光垫 [P].

J·R·麦考密克 ;

B·E·巴尔顿 .

中国专利 :CN113442057A ,2021-09-28

[4]

具有改良孔结构的抛光垫 [P].

斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ;

乌马·斯利德哈尔 ;

骆英东 ;

阿什温·乔卡林格 ;

马尤·亚玛木拉 ;

塞巴斯蒂安·戴维·罗索 ;

丹尼尔·雷德菲尔德 ;

拉杰夫·巴贾 ;

奈格·B·帕蒂班德拉 ;

浩·T·黃 ;

苏达卡尔·马杜苏达南 .

美国专利 :CN117545593A ,2024-02-09

[5]

具有互连孔的抛光垫 [P].

希扬·阿卡兰卡·贾亚纳特·韦瓦拉·戈纳加哈德尼亚 ;

阿什温·乔卡林格 ;

贾森·G·冯 ;

维拉·拉哈瓦·雷迪·卡基雷迪 ;

南丹·巴拉达纳哈里·肯查帕 ;

普尼特·纳伦德拉·贾瓦利 ;

拉杰夫·巴贾 .

美国专利 :CN117729986A ,2024-03-19

[6]

具有成分填充孔的多孔化学机械抛光垫 [P].

阿巴尼什沃·普拉萨德 .

中国专利 :CN1934208B ,2007-03-21

[7]

形成具有很少条纹的抛光垫的方法 [P].

J·P·克特斯 ;

A·E·莱文顿 ;

K·－E·诺顿 ;

S·J·诺韦伯 ;

M·W·罗伯逊 ;

A·H·赛金 .

中国专利 :CN1754657A ,2006-04-05

[8]

双孔结构抛光垫 [P].

D·B·詹姆斯 ;

H·桑福德-克兰 .

中国专利 :CN102029577A ,2011-04-27

[9]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 .

美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06

[10]

具有凹陷窗的抛光垫 [P].

凯尔·A·特纳 ;

杰弗里·L·比勒 ;

凯利·J·纽厄尔 .

中国专利 :CN1852788A ,2006-10-25

← 1 2 3 4 5 →