具有凹陷窗的抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480026762.3

申请日：

2004-09-14

公开(公告)号：

CN1852788A

公开(公告)日：

2006-10-25

发明(设计)人：

凯尔·A·特纳杰弗里·L·比勒凯利·J·纽厄尔

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺斯州

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24D1314

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人：

王允方;刘国伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-10-25	公开	公开
2011-11-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101215933499 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2004800267623 公开日:20061025
2006-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 .

美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06

[2]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 .

美国专利 :CN118418036A ,2024-08-02

[3]

抛光垫窗 [P].

B·钱 ;

E·S·西蒙 ;

G·C·雅各布 .

中国专利 :CN106002608B ,2016-10-12

[4]

具有填充的无孔副垫的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179337A ,2025-12-23

[5]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

美国专利 :CN113829232B ,2024-07-12

[6]

具有热管理特征的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

M·R·范哈内亨 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179338A ,2025-12-23

[7]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

中国专利 :CN113829232A ,2021-12-24

[8]

具有二次窗密封的抛光垫 [P].

拉杰库马尔·阿拉加萨米 ;

永琪·胡 ;

西蒙·亚沃伯格 ;

佩里亚·戈帕兰 ;

克里斯托弗·R·马洪 .

中国专利 :CN105144349B ,2015-12-09

[9]

具有在支撑件上的抛光元件的CMP抛光垫 [P].

J·R·麦考密克 ;

B·E·巴尔顿 .

中国专利 :CN113442055A ,2021-09-28

[10]

具有低缺陷整体窗的化学机械抛光垫 [P].

M·J·库尔普 ;

S·H·威廉姆斯 .

中国专利 :CN102310366B ,2012-01-11

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