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具有均匀窗口的CMP抛光垫
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110690687.6
申请日：
2021-06-22
公开(公告)号：
CN113829232B
公开(公告)日：
2024-07-12
发明(设计)人：
M·E·古兹曼
N·A·瓦斯克斯
M·R·加丁科
M·E·米尔斯
申请人：
罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请人地址：
美国特拉华州
IPC主分类号：
B24B37/20
IPC分类号：
B24B37/24
B24B37/26
B24B37/013
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
乐洪咏;陈哲锋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-12 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-24 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):B24B 37/20变更事项:专利权人变更前:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司变更后:杜邦电子材料控股股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:美国变更后:美国变更事项:地址变更前:美国特拉华州变更后:美国特拉华州 |