具有端点窗口的抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410137260.7

申请日：

2024-01-31

公开(公告)号：

CN118418036A

公开(公告)日：

2024-08-02

发明(设计)人：

苏于中

申请人：

罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

B24B37/20

IPC分类号：

B24B37/013 B24B37/26

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;乐洪咏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/20申请日:20240131
2025-02-07	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):B24B 37/20变更事项:申请人变更前:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司变更后:杜邦电子材料控股股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:美国变更后:美国变更事项:地址变更前:美国特拉华州变更后:美国特拉华州
2024-08-02	公开	公开

共 50 条

[1]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 .

美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06

[2]

具有端点检测窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 ;

L·M·库克 .

美国专利 :CN118636052A ,2024-09-13

[3]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

美国专利 :CN113829232B ,2024-07-12

[4]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

中国专利 :CN113829232A ,2021-12-24

[5]

具有高透光窗口的抛光垫 [P].

J·V·H·罗伯茨 .

中国专利 :CN1622289A ,2005-06-01

[6]

具有密封窗口的化学机械抛光垫 [P].

D·斯特林 ;

J·W·图雷 .

中国专利 :CN103286675A ,2013-09-11

[7]

具有终点检测窗口的抛光垫 [P].

H·金 .

美国专利 :CN120715802A ,2025-09-30

[8]

具有窗口的化学机械抛光垫 [P].

J·索 ;

B·钱 ;

J·泰斯法 .

中国专利 :CN105965382B ,2016-09-28

[9]

具有填充的无孔副垫的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179337A ,2025-12-23

[10]

具有在低波长下具有透明度的窗口的化学机械抛光垫和用于这种窗口的材料 [P].

M·R·加丁科 ;

M·E·古兹曼 .

中国专利 :CN114683166A ,2022-07-01

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