具有在低波长下具有透明度的窗口的化学机械抛光垫和用于这种窗口的材料

被引：0

申请号：

CN202111526983.9

申请日：

2021-12-14

公开(公告)号：

CN114683166A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

M·R·加丁科 M·E·古兹曼

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

B24B3726

IPC分类号：

B24B3720 B24B3722 B24B3724 B24B37005 B24B4912 H01L21306

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

乐洪咏;陈哲锋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/26 申请日:20211214
2022-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

具有窗口的化学机械抛光垫 [P].

J·索 ;

B·钱 ;

J·泰斯法 .

中国专利 :CN105965382B ,2016-09-28

[2]

具有密封窗口的化学机械抛光垫 [P].

D·斯特林 ;

J·W·图雷 .

中国专利 :CN103286675A ,2013-09-11

[3]

具有抛光层和窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

J·穆奈恩 ;

A·雷珀 ;

M·詹森 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942702A ,2015-09-30

[4]

具有复合透明窗口的化学机械抛光垫 [P].

阿巴尼什沃尔·普拉萨德 .

中国专利 :CN1744968A ,2006-03-08

[5]

具有密封窗口的化学机械抛光垫 [P].

D·斯特林 ;

J·W·图雷 .

中国专利 :CN101722464A ,2010-06-09

[6]

具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30

[7]

用于化学机械抛光的包含声学窗口的抛光垫 [P].

N·A·威斯韦尔 ;

B·切里安 ;

T·H·奥斯特海德 ;

J·G·冯 .

美国专利 :CN117677465A ,2024-03-08

[8]

具有窗口的软性且可修整的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·W·德格鲁特 ;

M·K·詹森 ;

J·穆奈恩 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 ;

D·B·詹姆斯 ;

叶逢蓟 .

中国专利 :CN104942700A ,2015-09-30

[9]

具有端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN105014527A ,2015-11-04

[10]

化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫 [P].

梅英杰 ;

鲁航 ;

王凯 ;

田骐源 ;

袁文杰 ;

高彦升 ;

闫晨凯 .

中国专利 :CN118721051B ,2025-08-29

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