具有端点检测窗口的抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410118192.X

申请日：

2024-01-26

公开(公告)号：

CN118636052A

公开(公告)日：

2024-09-13

发明(设计)人：

苏于中 H·金 L·M·库克

申请人：

罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

B24B37/20

IPC分类号：

B24B37/013 B24B37/26

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

乐洪咏;陈哲锋

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):B24B 37/20变更事项:申请人变更前:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司变更后:杜邦电子材料控股股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:美国变更后:美国变更事项:地址变更前:美国特拉华州变更后:美国特拉华州
2024-09-13	公开	公开
2024-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/20申请日:20240126

共 50 条

[1]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 .

美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06

[2]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 .

美国专利 :CN118418036A ,2024-08-02

[3]

具有终点检测窗口的抛光垫 [P].

H·金 .

美国专利 :CN120715802A ,2025-09-30

[4]

凸缘光学端点检测窗口和含有其的CMP抛光垫 [P].

S·G·皮斯克拉克 ;

J·J·亨德伦 .

中国专利 :CN109500728A ,2019-03-22

[5]

具有端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN105014527A ,2015-11-04

[6]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

美国专利 :CN113829232B ,2024-07-12

[7]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

中国专利 :CN113829232A ,2021-12-24

[8]

具有清晰端点检测窗的化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

M·W·格鲁特 .

中国专利 :CN105033841A ,2015-11-11

[9]

具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30

[10]

具有广谱终点检测窗口的化学机械抛光垫以及使用该抛光垫进行抛光的方法 [P].

A·雷珀 ;

D·B·詹姆士 ;

M·A·洛伊格斯 .

中国专利 :CN104029116B ,2014-09-10

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