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具有广谱终点检测窗口的化学机械抛光垫以及使用该抛光垫进行抛光的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410080909.2
申请日：
2014-03-06
公开(公告)号：
CN104029116B
公开(公告)日：
2014-09-10
发明(设计)人：
A·雷珀 D·B·詹姆士 M·A·洛伊格斯
申请人：
申请人地址：
美国特拉华州
IPC主分类号：
B24B3724
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
江磊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2014-09-10 公开 公开
2017-05-24 授权 授权
2014-10-15 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587402057 IPC(主分类):B24B 37/24 专利申请号:2014100809092 申请日:20140306
共 50 条
[1]
具有广谱终点检测窗口的多层化学机械抛光垫 [P]. 
A·雷珀 ;
D·B·詹姆士 ;
M·A·洛伊格斯 ;
M·德格鲁特 .
中国专利 :CN104029115A ,2014-09-10
[2]
具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P]. 
钱百年 ;
M·德格鲁特 .
中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30
[3]
化学机械抛光垫 [P]. 
M·J·库尔普 .
中国专利 :CN100540225C ,2007-11-28
[4]
化学机械抛光垫 [P]. 
M·J·库尔普 .
中国专利 :CN100540224C ,2007-11-28
[5]
终点检测窗口、化学机械抛光垫及其制备方法 [P]. 
严亮 ;
罗乙杰 ;
占英才 ;
刘聪 ;
林文多 .
中国专利 :CN120865505A ,2025-10-31
[6]
具有窗口的化学机械抛光垫 [P]. 
J·索 ;
B·钱 ;
J·泰斯法 .
中国专利 :CN105965382B ,2016-09-28
[7]
终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P]. 
谢毓 ;
王凯 .
中国专利 :CN118456278A ,2024-08-09
[8]
终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P]. 
谢毓 ;
王凯 .
中国专利 :CN118456278B ,2024-12-03
[9]
化学机械抛光垫 [P]. 
T·T·克韦纳克 ;
A·S·拉文 ;
C·A·福西特 ;
K·A·普莱贡 ;
M·J·库尔普 .
中国专利 :CN101306517B ,2008-11-19
[10]
化学机械抛光垫 [P]. 
M·J·库尔普 ;
D·B·詹姆斯 ;
R·F·安特瑞 .
中国专利 :CN101204795A ,2008-06-25
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