具有二次窗密封的抛光垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480015298.1

申请日：

2014-03-13

公开(公告)号：

CN105144349B

公开(公告)日：

2015-12-09

发明(设计)人：

拉杰库马尔·阿拉加萨米永琪·胡西蒙·亚沃伯格佩里亚·戈帕兰克里斯托弗·R·马洪

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655724066 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2014800152981 申请日:20140313
2015-12-09	公开	公开
2017-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

具有凹陷窗的抛光垫 [P].

凯尔·A·特纳 ;

杰弗里·L·比勒 ;

凯利·J·纽厄尔 .

中国专利 :CN1852788A ,2006-10-25

[2]

抛光垫窗 [P].

B·钱 ;

E·S·西蒙 ;

G·C·雅各布 .

中国专利 :CN106002608B ,2016-10-12

[3]

具有终点检测窗的抛光垫及其应用 [P].

谢毓 ;

王凯 .

中国专利 :CN113246015B ,2021-08-13

[4]

具有密封窗口的化学机械抛光垫 [P].

D·斯特林 ;

J·W·图雷 .

中国专利 :CN103286675A ,2013-09-11

[5]

在薄型抛光垫中的窗 [P].

永琪·胡 ;

凯瑟拉·拉马亚·纳伦德纳斯 ;

托马斯·劳伦斯·特里 .

中国专利 :CN108701600A ,2018-10-23

[6]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 .

美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06

[7]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 .

美国专利 :CN118418036A ,2024-08-02

[8]

具有互连孔的抛光垫 [P].

希扬·阿卡兰卡·贾亚纳特·韦瓦拉·戈纳加哈德尼亚 ;

阿什温·乔卡林格 ;

贾森·G·冯 ;

维拉·拉哈瓦·雷迪·卡基雷迪 ;

南丹·巴拉达纳哈里·肯查帕 ;

普尼特·纳伦德拉·贾瓦利 ;

拉杰夫·巴贾 .

美国专利 :CN117729986A ,2024-03-19

[9]

具有填充的无孔副垫的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179337A ,2025-12-23

[10]

具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P].

M·E·古兹曼 ;

N·A·瓦斯克斯 ;

M·R·加丁科 ;

M·E·米尔斯 .

美国专利 :CN113829232B ,2024-07-12

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