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带有具有设计的开放空隙空间的突起结构的CMP抛光垫

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110269948.7
申请日：
2021-03-12
公开(公告)号：
CN113442057A
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
J·R·麦考密克 B·E·巴尔顿
申请人：
申请人地址：
美国特拉华州
IPC主分类号：
B24B3726
IPC分类号：
B24B100
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐鑫;陈哲锋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-10-22 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/26 申请日:20210312
2021-09-28 公开 公开
共 50 条
[1]
具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P]. 
M·E·古兹曼 ;
N·A·瓦斯克斯 ;
M·R·加丁科 ;
M·E·米尔斯 .
美国专利 :CN113829232B ,2024-07-12
[2]
具有均匀窗口的CMP抛光垫 [P]. 
M·E·古兹曼 ;
N·A·瓦斯克斯 ;
M·R·加丁科 ;
M·E·米尔斯 .
中国专利 :CN113829232A ,2021-12-24
[3]
具有提高的速率的CMP抛光垫 [P]. 
M·T·伊斯兰 .
美国专利 :CN115139219B ,2024-10-29
[4]
具有提高的速率的CMP抛光垫 [P]. 
M·T·伊斯兰 .
中国专利 :CN115139219A ,2022-10-04
[5]
具有在支撑件上的抛光元件的CMP抛光垫 [P]. 
J·R·麦考密克 ;
B·E·巴尔顿 .
中国专利 :CN113442055A ,2021-09-28
[6]
具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫 [P]. 
G.弗图 ;
A.卡恩纳 ;
R.瓦卡西 .
中国专利 :CN105474366A ,2016-04-06
[7]
具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫 [P]. 
G.弗图 ;
A.卡恩纳 ;
R.瓦卡西 .
中国专利 :CN107520743A ,2017-12-29
[8]
具有端点窗口的抛光垫 [P]. 
苏于中 ;
H·金 .
美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06
[9]
具有凹陷窗的抛光垫 [P]. 
凯尔·A·特纳 ;
杰弗里·L·比勒 ;
凯利·J·纽厄尔 .
中国专利 :CN1852788A ,2006-10-25
[10]
具有端点窗口的抛光垫 [P]. 
苏于中 .
美国专利 :CN118418036A ,2024-08-02
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