形成具有很少条纹的抛光垫的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510108493.1

申请日：

2005-09-29

公开(公告)号：

CN1754657A

公开(公告)日：

2006-04-05

发明(设计)人：

J·P·克特斯 A·E·莱文顿 K·－E·诺顿 S·J·诺韦伯 M·W·罗伯逊 A·H·赛金

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L21304 B29D700

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沙永生

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-05	公开	公开
2010-11-17	授权	授权
2006-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

制造减少条纹的化学机械抛光垫的设备 [P].

A·H·赛金 .

中国专利 :CN1781668A ,2006-06-07

[2]

减少了条纹的化学机械抛光垫的制备方法 [P].

A·H·赛金 .

中国专利 :CN1781669A ,2006-06-07

[3]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 ;

H·金 .

美国专利 :CN118438341A ,2024-08-06

[4]

具有凹陷窗的抛光垫 [P].

凯尔·A·特纳 ;

杰弗里·L·比勒 ;

凯利·J·纽厄尔 .

中国专利 :CN1852788A ,2006-10-25

[5]

具有端点窗口的抛光垫 [P].

苏于中 .

美国专利 :CN118418036A ,2024-08-02

[6]

具有改进的粘着性的水基抛光垫及其制造方法 [P].

C·H·杜昂 .

中国专利 :CN1935461A ,2007-03-28

[7]

多孔反应注塑化学机械抛光垫的制造方法 [P].

D·B·詹姆斯 ;

J·V·H·罗伯茨 .

中国专利 :CN1846939A ,2006-10-18

[8]

具有填充的无孔副垫的抛光垫 [P].

M·R·加丁斯基 ;

D·辉 ;

C·谢尔腾 ;

J·S·梅兹 ;

J·斯特拉德 .

美国专利 :CN121179337A ,2025-12-23

[9]

抛光垫及其形成的方法 [P].

国强·D·张 ;

拉尔夫·V·沃格尔格桑 ;

格雷戈里·波茨 ;

亨利·F·埃克 .

中国专利 :CN1341049A ,2002-03-20

[10]

具有提高的速率的CMP抛光垫 [P].

M·T·伊斯兰 .

美国专利 :CN115139219B ,2024-10-29

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