多孔反应注塑化学机械抛光垫的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200610073713.6
申请日
2006-04-05
公开(公告)号
CN1846939A
公开(公告)日
2006-10-18
发明(设计)人
D·B·詹姆斯 J·V·H·罗伯茨
申请人
申请人地址
美国特拉华州
IPC主分类号
B24D1700
IPC分类号
C08J514
代理机构
上海专利商标事务所有限公司
代理人
朱黎明
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
化学机械抛光垫 [P]. 
M·J·库尔普 ;
T·T·克韦纳克 .
中国专利 :CN101642897A ,2010-02-10
[2]
化学机械抛光垫的抛光层 [P]. 
朱顺全 ;
罗乙杰 ;
刘敏 .
中国专利 :CN107457716B ,2017-12-12
[3]
多孔化学机械抛光垫 [P]. 
S·嘎纳帕西亚潘 ;
N·B·帕蒂班德拉 ;
R·巴贾杰 ;
D·莱德菲尔德 ;
F·C·雷德克 ;
M·C·奥里拉尔 ;
傅博诣 ;
M·山村 ;
A·乔卡里汉 .
中国专利 :CN113146464A ,2021-07-23
[4]
多孔化学机械抛光垫 [P]. 
S·嘎纳帕西亚潘 ;
N·B·帕蒂班德拉 ;
R·巴贾杰 ;
D·莱德菲尔德 ;
F·C·雷德克 ;
M·C·奥里拉尔 ;
傅博诣 ;
M·山村 ;
A·乔卡里汉 .
中国专利 :CN108698206A ,2018-10-23
[5]
化学机械抛光垫 [P]. 
朱顺全 ;
黎文部 ;
刘敏 .
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[6]
化学机械抛光垫 [P]. 
B·钱 ;
M·W·格鲁特 .
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[7]
化学机械抛光垫及化学机械抛光方法 [P]. 
刘宇宏 ;
韩桂全 ;
雒建斌 ;
郭丹 ;
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[8]
化学机械抛光方法 [P]. 
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[9]
化学机械抛光垫 [P]. 
叶逢蓟 ;
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[10]
化学机械抛光垫 [P]. 
M·J·库尔普 .
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