一种碳化硅涂层用沉积炉尾气处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410012604.1

申请日：

2024-01-04

公开(公告)号：

CN117899577A

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

于伟华黄修康王彬汪勋杨司楠

申请人：

江苏协鑫特种材料科技有限公司

申请人地址：

221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号

IPC主分类号：

B01D46/12

IPC分类号：

B01D46/60 B01D46/42 B01D50/60 B01D53/00 B01D46/79 C02F1/40 C02F103/18

代理机构：

北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205

代理人：

王波

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	公开	公开
2024-06-14	授权	授权
2024-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 46/12申请日:20240104

共 50 条

[1]

一种碳化硅涂层用沉积炉尾气处理设备 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

王彬 ;

汪勋 ;

杨司楠 .

中国专利 :CN117899577B ,2024-06-14

[2]

一种碳化硅涂层用沉积炉尾气处理设备 [P].

王磊 ;

董发 .

中国专利 :CN121041793A ,2025-12-02

[3]

一种碳化硅涂层用高效沉积炉 [P].

黄晓峰 ;

黄子丹 .

中国专利 :CN211546661U ,2020-09-22

[4]

一种碳化硅生产用尾气处理设备 [P].

王光发 .

中国专利 :CN221156076U ,2024-06-18

[5]

一种碳化硅外延工艺尾气处理设备 [P].

赵小瑜 .

中国专利 :CN118049656A ,2024-05-17

[6]

一种沉积碳化硅涂层的CVD设备尾气处理系统及方法 [P].

段巨祥 ;

林源 ;

戴斌 ;

戴劲 ;

张池澜 ;

刘志坚 ;

谭兴龙 ;

王艳艳 ;

许鹏 ;

戴煜 .

中国专利 :CN121103112A ,2025-12-12

[7]

一种CVD碳化硅沉积处理设备 [P].

白秋云 .

中国专利 :CN217895744U ,2022-11-25

[8]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922B ,2024-06-14

[9]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922A ,2024-03-08

[10]

碳化硅沉积炉 [P].

李太平 ;

蒋根同 ;

曹立华 ;

唐丽 .

中国专利 :CN220300921U ,2024-01-05

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