一种碳化硅涂层用高效沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922141234.9

申请日：

2019-12-04

公开(公告)号：

CN211546661U

公开(公告)日：

2020-09-22

发明(设计)人：

黄晓峰黄子丹

申请人：

申请人地址：

226300 江苏省南通市南通高新区金源路111号

IPC主分类号：

C23C1632

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173

代理人：

郭尊言

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-22	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅沉积炉 [P].

李太平 ;

蒋根同 ;

曹立华 ;

唐丽 .

中国专利 :CN220300921U ,2024-01-05

[2]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770951U ,2021-03-23

[3]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉 [P].

陈浩纯 ;

魏璐 ;

郭勇 ;

赵江鹏 ;

许学亮 .

中国专利 :CN223118543U ,2025-07-18

[4]

一种卧式分段式石墨碳化硅涂层用气相沉积炉 [P].

胡建文 ;

胡梦佳 ;

郑渊 .

中国专利 :CN205152328U ,2016-04-13

[5]

大型石墨套碳化硅涂层用气相沉积炉 [P].

郑渊 .

中国专利 :CN203530428U ,2014-04-09

[6]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922B ,2024-06-14

[7]

一种碳化硅涂层用沉积炉尾气处理设备 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

王彬 ;

汪勋 ;

杨司楠 .

中国专利 :CN117899577A ,2024-04-19

[8]

一种碳化硅涂层用沉积炉尾气处理设备 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

王彬 ;

汪勋 ;

杨司楠 .

中国专利 :CN117899577B ,2024-06-14

[9]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922A ,2024-03-08

[10]

一种碳化硅涂层用沉积炉尾气处理设备 [P].

王磊 ;

董发 .

中国专利 :CN121041793A ,2025-12-02

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