一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421899005.8

申请日：

2024-08-07

公开(公告)号：

CN223118543U

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

陈浩纯魏璐郭勇赵江鹏许学亮

申请人：

四川汇瑞碳基新材料科技有限公司

申请人地址：

644000 四川省宜宾市高县月江镇福旺路6号企业服务中心8402室

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C16/458 C23C16/34

代理机构：

四川白兔专利代理事务所(普通合伙) 51388

代理人：

邢丽枝

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	授权	授权
2025-10-31	专利权的保全及其解除	专利权的保全IPC(主分类):C23C 16/44申请日:20240807授权公告日:20250718登记生效日:20251014

共 50 条

[1]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770951U ,2021-03-23

[2]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置 [P].

贺鹏博 ;

周明 .

中国专利 :CN218232567U ,2023-01-06

[3]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用支撑结构 [P].

贺鹏博 ;

舒学福 .

中国专利 :CN217922300U ,2022-11-29

[4]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922B ,2024-06-14

[5]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922A ,2024-03-08

[6]

碳化硅化学气相沉积炉的进气装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN111560597B ,2020-08-21

[7]

大型石墨套碳化硅涂层用气相沉积炉 [P].

郑渊 .

中国专利 :CN203530428U ,2014-04-09

[8]

一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置 [P].

李应新 ;

袁治军 .

中国专利 :CN119710642A ,2025-03-28

[9]

化学气相沉积制备全沉积碳化硅涂层的装置 [P].

杨泰生 ;

刘海林 ;

霍艳丽 ;

陈玉峰 ;

唐婕 ;

胡利明 .

中国专利 :CN108546928B ,2018-09-18

[10]

一种分段式石墨碳化硅涂层用气相沉积炉 [P].

胡建文 ;

胡梦佳 ;

郑渊 .

中国专利 :CN205152329U ,2016-04-13

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