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碳化硅化学气相沉积炉的进气装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010560400.3
申请日：
2020-06-18
公开(公告)号：
CN111560597B
公开(公告)日：
2020-08-21
发明(设计)人：
贺鹏博
周帆
申请人：
申请人地址：
413000 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
IPC主分类号：
C23C1632
IPC分类号：
C23C16448
C23C16455
代理机构：
长沙轩荣专利代理有限公司 43235
代理人：
张勇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-01 | 授权 | 授权 |
| 2020-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/32 申请日:20200618 |
| 2023-01-20 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 16/32 登记号:Y2023320010014 登记生效日:20230105 出质人:湖南铠欣新材料科技有限公司 质权人:苏州市融风科技小额贷款有限公司 发明名称:碳化硅化学气相沉积炉的进气装置 申请日:20200618 授权公告日:20220701 |
| 2020-08-21 | 公开 | 公开 |