一种分段式石墨碳化硅涂层用气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520542351.5

申请日：

2015-07-24

公开(公告)号：

CN205152329U

公开(公告)日：

2016-04-13

发明(设计)人：

胡建文胡梦佳郑渊

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市新津工业园区A区希望西路189号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1632

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20150724 授权公告日:20160413 终止日期:20200724
2016-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种卧式分段式石墨碳化硅涂层用气相沉积炉 [P].

胡建文 ;

胡梦佳 ;

郑渊 .

中国专利 :CN205152328U ,2016-04-13

[2]

大型石墨套碳化硅涂层用气相沉积炉 [P].

郑渊 .

中国专利 :CN203530428U ,2014-04-09

[3]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN212770951U ,2021-03-23

[4]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉 [P].

陈浩纯 ;

魏璐 ;

郭勇 ;

赵江鹏 ;

许学亮 .

中国专利 :CN223118543U ,2025-07-18

[5]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922B ,2024-06-14

[6]

一种碳化硅涂层生产用气相沉积炉 [P].

于伟华 ;

黄修康 ;

汪勋 ;

王彬 ;

孙银刚 .

中国专利 :CN117660922A ,2024-03-08

[7]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置 [P].

贺鹏博 ;

周明 .

中国专利 :CN218232567U ,2023-01-06

[8]

一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用支撑结构 [P].

贺鹏博 ;

舒学福 .

中国专利 :CN217922300U ,2022-11-29

[9]

一种碳化硅涂层用高效沉积炉 [P].

黄晓峰 ;

黄子丹 .

中国专利 :CN211546661U ,2020-09-22

[10]

一种碳化硅沉积炉进气装置 [P].

刘汝强 ;

周清波 ;

胡晓静 ;

吴思华 ;

王殿春 .

中国专利 :CN213739671U ,2021-07-20

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