一种多量程纳米薄膜压力传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211640714.X

申请日：

2022-12-20

公开(公告)号：

CN116358749B

公开(公告)日：

2024-03-26

发明(设计)人：

徐承义杨雪梅刘素夫雷卫武

申请人：

松诺盟科技有限公司

申请人地址：

410300 湖南省长沙市浏阳经济技术开发区湘台路18号长沙E中心A5栋3、4层01、02号房

IPC主分类号：

G01L1/22

IPC分类号：

G01L1/20

代理机构：

成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308

代理人：

刘波

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多量程集成压力传感器芯片 [P].

揣荣岩 ;

王健 ;

刘斌 .

中国专利 :CN102798498A ,2012-11-28

[2]

一种多量程压力传感器校准装置 [P].

杨钧 ;

曹义军 ;

方兆波 .

中国专利 :CN223485377U ,2025-10-28

[3]

纳米硅薄膜压力传感器 [P].

谢贵久 ;

白庆星 ;

安志超 ;

谢锋 ;

何迎辉 ;

颜志红 ;

黄华山 ;

龚星 .

中国专利 :CN202956241U ,2013-05-29

[4]

一种薄膜压力传感器 [P].

郝东 ;

浦广益 ;

王枫 .

中国专利 :CN114689227B ,2025-07-11

[5]

一种薄膜压力传感器 [P].

郝东 ;

浦广益 ;

王枫 .

中国专利 :CN217304219U ,2022-08-26

[6]

一种薄膜压力传感器 [P].

郝东 ;

浦广益 ;

王枫 .

中国专利 :CN114689227A ,2022-07-01

[7]

一种用于高温多量程的压力传感器 [P].

官威 ;

胡振鹏 ;

叶忠强 .

中国专利 :CN222353382U ,2025-01-14

[8]

一种多量程多分辨率的薄膜压力传感器 [P].

陈冬冬 ;

陈立波 ;

于翔宇 ;

郝精诚 .

中国专利 :CN119469477A ,2025-02-18

[9]

薄膜压力传感器 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105021341B ,2015-11-04

[10]

纳米压力传感器 [P].

安志超 ;

杨彪 ;

雷卫武 .

中国专利 :CN2483705Y ,2002-03-27

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