外延生长设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311651608.6

申请日：

2023-12-05

公开(公告)号：

CN117822119A

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

曹雅典

申请人：

希科半导体科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215122 江苏省苏州市工业园区双灯路1号苏州纳米城III区第三代半导体产业园1号楼101、102、108厂房

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B25/12

代理机构：

苏州禾润科晟知识产权代理事务所(普通合伙) 32525

代理人：

缪成珠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/36申请日:20231205
2024-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[2]

外延生长设备 [P].

黄小辉 ;

杨斌 ;

滕龙 ;

康建 ;

梁旭东 .

中国专利 :CN105506733A ,2016-04-20

[3]

外延生长设备 [P].

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN107435164A ,2017-12-05

[4]

外延生长设备 [P].

石磊 ;

唐超凡 ;

王娟 ;

刘柱 ;

万胜强 ;

李勇 ;

王韬 ;

鲁彤 .

中国专利 :CN307302506S ,2022-04-29

[5]

外延生长设备 [P].

董志清 .

中国专利 :CN103806094A ,2014-05-21

[6]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

马欢 ;

田娜娜 ;

葛永晖 ;

蔡历武 ;

张明 .

中国专利 :CN119913608A ,2025-05-02

[7]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110578166A ,2019-12-17

[8]

气浮托盘组件和外延生长设备 [P].

廖家豪 ;

谭湘达 ;

邱淋鹏 ;

柴攀 ;

万强 .

中国专利 :CN118547373A ,2024-08-27

[9]

气浮托盘组件和外延生长设备 [P].

廖家豪 ;

谭湘达 ;

邱淋鹏 ;

柴攀 ;

万强 .

中国专利 :CN118547373B ,2024-12-06

[10]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210A ,2025-04-04

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