外延生长设备

被引：0

申请号：

CN202130516299.7

申请日：

2021-08-10

公开(公告)号：

CN307302506S

公开(公告)日：

2022-04-29

发明(设计)人：

石磊唐超凡王娟刘柱万胜强李勇王韬鲁彤

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

刘畅舟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

外延生长设备 [P].

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN107435164A ,2017-12-05

[2]

外延生长设备 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117822119A ,2024-04-05

[3]

外延生长设备 [P].

董志清 .

中国专利 :CN103806094A ,2014-05-21

[4]

外延生长设备 [P].

黄小辉 ;

杨斌 ;

滕龙 ;

康建 ;

梁旭东 .

中国专利 :CN105506733A ,2016-04-20

[5]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

马欢 ;

田娜娜 ;

葛永晖 ;

蔡历武 ;

张明 .

中国专利 :CN119913608A ,2025-05-02

[6]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110578166A ,2019-12-17

[7]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[8]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210A ,2025-04-04

[9]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210B ,2025-11-18

[10]

碳化硅外延生长设备 [P].

邓家乐 ;

谢添乐 ;

巩小亮 ;

巴赛 ;

胡志坤 ;

石磊 ;

李彦斌 .

中国专利 :CN309106980S ,2025-02-11

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