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基于深度学习的晶圆表面检测方法、装置、设备和介质

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311853126.9
申请日：
2023-12-29
公开(公告)号：
CN117495856A
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
刘畅宇 刘冰 高锦龙
申请人：
深圳市壹倍科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源科技创新生态园B5栋一层
IPC主分类号：
G06T7/00
IPC分类号：
G06T7/73 G06T7/13 G06T7/187 G06V10/764 G06V10/82 G06N3/04 G06N3/08
代理机构：
深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325
代理人：
张美君
法律状态：
公开
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-02-02 公开 公开
2024-02-23 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20231229
2024-03-22 授权 授权
共 50 条
[1]
基于深度学习的晶圆表面检测方法、装置、设备和介质 [P]. 
刘畅宇 ;
刘冰 ;
高锦龙 .
中国专利 :CN117495856B ,2024-03-22
[2]
基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P]. 
张夏玮 ;
史曼云 ;
郭宜娜 ;
杨佳琦 ;
殷海洋 ;
蒋睿 ;
张贵阳 .
中国专利 :CN117710378B ,2024-04-30
[3]
基于深度学习的晶圆表面缺陷检测方法、系统及存储介质 [P]. 
张夏玮 ;
史曼云 ;
郭宜娜 ;
杨佳琦 ;
殷海洋 ;
蒋睿 ;
张贵阳 .
中国专利 :CN117710378A ,2024-03-15
[4]
一种基于深度学习的晶圆瑕疵检测方法 [P]. 
夏新栋 ;
杨彪 ;
戚璐璐 ;
兰昊 ;
姜丰 ;
王睿 ;
杨长春 .
中国专利 :CN115439428A ,2022-12-06
[5]
一种基于深度学习的晶圆瑕疵检测方法 [P]. 
夏新栋 ;
杨彪 ;
戚璐璐 ;
兰昊 ;
姜丰 ;
王睿 ;
杨长春 .
中国专利 :CN115439428B ,2025-08-08
[6]
基于深度学习的表面缺陷检测方法、装置、系统和介质 [P]. 
吴静静 ;
陈星寰 ;
肖上 .
中国专利 :CN115170804B ,2024-01-26
[7]
基于深度学习的钢材表面缺陷检测方法、装置和设备 [P]. 
李潭 ;
宋伟宁 ;
高方方 ;
吴守栾 ;
宋超 ;
陈南江 ;
林燕文 .
中国专利 :CN120164081A ,2025-06-17
[8]
基于深度学习的钢材表面缺陷检测方法、装置和设备 [P]. 
李潭 ;
宋伟宁 ;
高方方 ;
吴守栾 ;
宋超 ;
陈南江 ;
林燕文 .
中国专利 :CN120164081B ,2025-07-15
[9]
基于深度学习的无监督晶圆缺陷检测方法 [P]. 
任鲁西 .
中国专利 :CN117274148B ,2024-07-09
[10]
基于深度学习的烟雾检测方法、装置、介质及设备 [P]. 
柴天佑 ;
黄杰 ;
吴高昌 .
中国专利 :CN118887410A ,2024-11-01
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