一种芯片基板翘曲的矫正装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322616342.3
申请日
2023-09-26
公开(公告)号
CN220963255U
公开(公告)日
2024-05-14
发明(设计)人
谢煜 何岗 马星汉 王琛 宋璟祺 熊舵
申请人
深圳市亿图视觉自动化技术有限公司
申请人地址
518100 广东省深圳市龙岗区吉华街道水径社区吉华路399号红门工业园一期C栋403
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
代理机构
深圳砾智知识产权代理事务所(普通合伙) 44722
代理人
张合成
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
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