一种晶圆吸附装置及晶圆加工机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410231817.3

申请日：

2024-03-01

公开(公告)号：

CN117832150A

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

王育才崔铭博

申请人：

山东瑞翼德科技股份有限公司

申请人地址：

264205 山东省威海市经济技术开发区众科创新工业园北区8-2号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541

代理人：

庄露露

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240301
2024-05-31	授权	授权
2024-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆吸附装置及晶圆加工机 [P].

王育才 ;

崔铭博 .

中国专利 :CN117832150B ,2024-05-31

[2]

晶圆吸附装置及晶圆加工设备 [P].

刘盛 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

文洪 ;

陆育梃 ;

王金生 ;

卢庆勇 ;

王安贵 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN220341197U ,2024-01-12

[3]

一种晶圆吸附装置及晶圆处理设备 [P].

严超 ;

宗源 ;

胡海波 ;

张晓燕 ;

王坚 .

中国专利 :CN119008497A ,2024-11-22

[4]

晶圆吸盘、晶圆吸附装置以及晶圆划片机 [P].

秦江 ;

岳芸 ;

孙彬 ;

吕超 .

中国专利 :CN107134426A ,2017-09-05

[5]

晶圆吸附装置、晶圆吸附系统及方法 [P].

林锺吉 .

中国专利 :CN118471888A ,2024-08-09

[6]

晶圆吸附装置及晶圆搬运设备 [P].

曹博旭 ;

张朋 ;

曲征辉 .

中国专利 :CN115410980A ,2022-11-29

[7]

晶圆吸附装置、晶圆吸附方法及检测设备 [P].

李海龙 ;

林飞 ;

向富豪 ;

余先勇 ;

周国栋 .

中国专利 :CN119725206A ,2025-03-28

[8]

用于晶圆加工的吸附装置、晶圆磨削装置及晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

陈超 ;

赵四化 .

中国专利 :CN222874233U ,2025-05-16

[9]

一种晶圆加工用吸附装置 [P].

杨普 ;

夏彤 ;

高曼荣 ;

向定艾 .

中国专利 :CN221282084U ,2024-07-05

[10]

一种晶圆吸附装置 [P].

罗中平 ;

王建飞 .

中国专利 :CN222927465U ,2025-05-30

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