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曝光装置及物品制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010556563.4
申请日：
2020-06-17
公开(公告)号：
CN112099318B
公开(公告)日：
2024-01-02
发明(设计)人：
漆原宏亮
申请人：
佳能株式会社
申请人地址：
日本东京都大田区下丸子3-30-2
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京怡丰知识产权代理有限公司 11293
代理人：
迟军;高华丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-02 | 授权 | 授权 |