一种微纳结构的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202410269190.0
申请日
2024-03-08
公开(公告)号
CN118145592A
公开(公告)日
2024-06-07
发明(设计)人
蒋晓龙 廖威 栾晓雨 张传超 王海军 蒋晓东 倪卫 王成程
申请人
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址
621900 四川省绵阳市绵山路64号
IPC主分类号
B81C1/00
IPC分类号
代理机构
北京高沃律师事务所 11569
代理人
霍苗
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
微纳结构基板及其制备方法、微纳结构器件 [P]. 
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[2]
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[3]
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[4]
一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法 [P]. 
何宇婷 ;
葛海雄 ;
李旸 .
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
一种新的硅基微纳结构的修饰方法 [P]. 
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[9]
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张坤朋 ;
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[10]
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