气体供给系统、气体控制系统、等离子体处理装置以及气体控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280053234.5

申请日：

2022-07-20

公开(公告)号：

CN117813677A

公开(公告)日：

2024-04-02

发明(设计)人：

泽地淳石原田幸太药师寺秀明佐藤好保森北信也吉村正太鹤田俊宽

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

G05D7/06 H01L21/205 H01L21/31

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李靖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	公开	公开
2024-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/3065申请日:20220720

共 50 条

[1]

气体供给系统、气体控制系统、等离子体处理装置以及气体控制方法 [P].

泽地淳 ;

石原田幸太 ;

药师寺秀明 ;

佐藤好保 ;

森北信也 ;

吉村正太 ;

鹤田俊宽 ;

鹰合一祥 .

日本专利 :CN119663233A ,2025-03-21

[2]

气体供给系统、等离子体处理装置以及气体供给系统的控制方法 [P].

泽地淳 .

日本专利 :CN111742393B ,2024-05-28

[3]

气体供给系统、等离子体处理装置以及气体供给系统的控制方法 [P].

泽地淳 .

中国专利 :CN111742393A ,2020-10-02

[4]

气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置 [P].

郑和俊 ;

北邨友志 .

中国专利 :CN112825296A ,2021-05-21

[5]

等离子体处理装置及其气体供给方法 [P].

加藤义之 ;

网仓纪彦 ;

实吉梨沙子 ;

深泽公博 .

中国专利 :CN102810445B ,2012-12-05

[6]

气体供给部件以及等离子体处理装置 [P].

周藤贤治 ;

三原直辉 .

中国专利 :CN102138204A ,2011-07-27

[7]

气体供给系统、等离子体处理装置和等离子体处理装置的应用方法 [P].

泽地淳 ;

佐佐木则和 ;

山岛淳 ;

佐藤好保 ;

野上健一 .

中国专利 :CN106575615B ,2017-04-19

[8]

等离子气体控制系统 [P].

孔春凤 .

中国专利 :CN207668678U ,2018-07-31

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理装置用气体供给机构 [P].

岩崎征英 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN102239544A ,2011-11-09

[10]

气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置 [P].

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN112928008A ,2021-06-08

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