一种利用高功率脉冲磁控溅射技术制备Si掺杂的ta-C涂层的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311531203.9

申请日：

2023-11-16

公开(公告)号：

CN117568762A

公开(公告)日：

2024-02-20

发明(设计)人：

冯利民李建中何哲秋石俊杰于凯吴静怡

申请人：

东北大学上海新弧源涂层技术有限公司

申请人地址：

110819 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/06 C23C14/54 C23C14/02

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

周莹;李馨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20231116
2024-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种利用高功率脉冲磁控溅射技术制备Ti掺杂的ta-C涂层的方法 [P].

冯利民 ;

李建中 ;

何哲秋 ;

石俊杰 ;

于凯 ;

吴静怡 .

中国专利 :CN117568763A ,2024-02-20

[2]

一种提高高功率脉冲磁控溅射技术制备ta-C涂层沉积速率的方法 [P].

冯利民 ;

李建中 ;

何哲秋 ;

石俊杰 ;

于凯 ;

吴静怡 .

中国专利 :CN117568764A ,2024-02-20

[3]

一种调制高功率脉冲磁控溅射制备AlCrN涂层的方法 [P].

郑军 ;

周晖 ;

王启民 ;

贵宾华 ;

张延帅 .

中国专利 :CN106835036A ,2017-06-13

[4]

一种结合高功率脉冲磁控溅射技术的硒鼓制备方法 [P].

廖斌 ;

庞盼 ;

唐杰 ;

罗军 ;

陈琳 .

中国专利 :CN109735818A ,2019-05-10

[5]

一种结合高功率脉冲磁控溅射技术的硒鼓制备系统 [P].

廖斌 ;

庞盼 ;

唐杰 ;

罗军 ;

陈琳 .

中国专利 :CN209989459U ,2020-01-24

[6]

一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制备AlTiN硬质涂层的方法 [P].

周晖 ;

郑军 ;

王启民 ;

贵宾华 ;

张延帅 ;

杨拉毛草 ;

桑瑞鹏 ;

赵栋才 .

中国专利 :CN106868450A ,2017-06-20

[7]

一种采用高功率脉冲磁控溅射制备TiAlSiN纳米复合薄膜的方法 [P].

匡同春 ;

陈怡 ;

邓阳 .

中国专利 :CN120210751A ,2025-06-27

[8]

高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法 [P].

范其香 ;

王铁钢 ;

吴正环 ;

王政权 ;

刘艳梅 ;

张涛 .

中国专利 :CN107130222B ,2017-09-05

[9]

一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制得的AlCrBN硬质涂层及其制备方法 [P].

刘源 ;

张子扬 ;

张泽 ;

张浩洋 ;

郑军 ;

赵栋才 ;

王启民 .

中国专利 :CN113201719A ,2021-08-03

[10]

一种基于高功率脉冲磁控溅射的碳化硅防护涂层的制备方法 [P].

宁德 ;

钱玖通 ;

陈炳安 ;

钟国仿 ;

吴唯 ;

章文丽 ;

王思达 ;

胡永军 ;

李伟民 ;

钟国华 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN117626195A ,2024-03-01

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