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晶圆盒的转运装置、转运系统及转运方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311296073.5
申请日：
2023-10-08
公开(公告)号：
CN117423647A
公开(公告)日：
2024-01-19
发明(设计)人：
户泽锋
缪峰
申请人：
弥费科技（上海）股份有限公司
申请人地址：
200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区秋山路1775弄3-4号1楼
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
唐清凯
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-19 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231008 |