一种硅片存放系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310980998.5

申请日：

2023-08-04

公开(公告)号：

CN117558664A

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

朱强王浩程睿

申请人：

宁夏隆基光电科技有限公司

申请人地址：

750021 宁夏回族自治区银川市西夏区宏图南街115号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/673

代理机构：

北京知迪知识产权代理有限公司 11628

代理人：

王胜利

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20230804
2024-02-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片存放装置 [P].

李新丰 ;

陶意 ;

张道盟 .

中国专利 :CN217468367U ,2022-09-20

[2]

一种硅片存放装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

王聚安 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN212330687U ,2021-01-12

[3]

一种硅片存放装置 [P].

贝静波 ;

吴智伟 ;

陈扬 ;

王国良 .

中国专利 :CN221341717U ,2024-07-16

[4]

一种太阳能硅片存放盘 [P].

沈彪 ;

李向清 ;

胡德良 .

中国专利 :CN202189819U ,2012-04-11

[5]

一种太阳能硅片存放盘 [P].

谭鑫 ;

曾光 ;

麦巍 .

中国专利 :CN211858669U ,2020-11-03

[6]

一种太阳能硅片存放盒 [P].

关统州 ;

钱小芳 ;

曾石发 ;

侯啸 .

中国专利 :CN204792726U ,2015-11-18

[7]

一种便于取出硅片的硅片存放装置 [P].

朱运权 .

中国专利 :CN207993832U ,2018-10-19

[8]

一种便于取出硅片的硅片存放装置 [P].

季丽 ;

姜磊 ;

郑贤巧 .

中国专利 :CN221139269U ,2024-06-14

[9]

一种易于取出硅片的硅片存放装置 [P].

陈文杰 ;

甘大源 ;

薛东波 ;

杨光 ;

封春霞 ;

陈秋杰 ;

刘智 .

中国专利 :CN204696092U ,2015-10-07

[10]

一种硅片传输装置及硅片传输系统 [P].

王钰雅 ;

陆刚 ;

石瑾瑜 .

中国专利 :CN208596666U ,2019-03-12

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