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一种低温等离子体材料处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311283871.4
申请日：
2023-10-07
公开(公告)号：
CN117352361A
公开(公告)日：
2024-01-05
发明(设计)人：
万良淏
周茂伟
万京林
申请人：
南京苏曼等离子科技有限公司
申请人地址：
210000 江苏省南京市江宁滨江经济开发区喜燕路
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
代理机构：
南京中识知识产权代理事务所(普通合伙) 32554
代理人：
孙丹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20231007 |
| 2024-01-05 | 公开 | 公开 |