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一种等离子体材料处理设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN200420066560.9
申请日
:
2004-06-23
公开(公告)号
:
CN2718948Y
公开(公告)日
:
2005-08-17
发明(设计)人
:
陈光良
杨思泽
张谷令
王久丽
刘元富
冯文然
刘赤子
申请人
:
申请人地址
:
100080北京市海淀区中关村南三街8号
IPC主分类号
:
H05H142
IPC分类号
:
B01J824
B01J1908
代理机构
:
北京泛华伟业知识产权代理有限公司
代理人
:
王凤华
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2005-08-17
授权
授权
2009-08-19
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
共 50 条
[1]
一种低温等离子体材料处理设备
[P].
万良淏
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
南京苏曼等离子科技有限公司
南京苏曼等离子科技有限公司
万良淏
;
周茂伟
论文数:
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0
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0
机构:
南京苏曼等离子科技有限公司
南京苏曼等离子科技有限公司
周茂伟
;
万京林
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0
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0
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0
机构:
南京苏曼等离子科技有限公司
南京苏曼等离子科技有限公司
万京林
.
中国专利
:CN117352361A
,2024-01-05
[2]
在常温大气压下对材料进行处理的等离子体流化床及方法
[P].
陈光良
论文数:
0
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0
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0
陈光良
;
杨思泽
论文数:
0
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0
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0
杨思泽
;
张谷令
论文数:
0
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0
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0
张谷令
;
王久丽
论文数:
0
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0
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0
王久丽
;
刘元富
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘元富
;
冯文然
论文数:
0
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0
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0
冯文然
;
刘赤子
论文数:
0
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0
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0
刘赤子
.
中国专利
:CN100376319C
,2005-12-21
[3]
等离子体处理设备
[P].
深泽孝之
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳市昇维旭技术有限公司
深圳市昇维旭技术有限公司
深泽孝之
.
中国专利
:CN120878527A
,2025-10-31
[4]
等离子体处理设备
[P].
马哲国
论文数:
0
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0
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0
马哲国
;
陈金元
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陈金元
;
欧阳亮
论文数:
0
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欧阳亮
;
董家伟
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0
董家伟
.
中国专利
:CN216145583U
,2022-03-29
[5]
等离子体处理设备
[P].
朴希侦
论文数:
0
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0
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0
朴希侦
.
中国专利
:CN202633209U
,2012-12-26
[6]
等离子体处理设备
[P].
欧阳亮
论文数:
0
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0
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0
欧阳亮
.
中国专利
:CN216145635U
,2022-03-29
[7]
等离子体处理设备
[P].
王许
论文数:
0
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0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
王许
;
朱永成
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
朱永成
;
李琳
论文数:
0
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
李琳
;
王智昊
论文数:
0
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0
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0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
王智昊
.
中国专利
:CN223665407U
,2025-12-12
[8]
一种等离子体处理设备
[P].
金熙中
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
金熙中
.
中国专利
:CN213519855U
,2021-06-22
[9]
一种等离子体处理设备
[P].
李开元
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
李开元
;
周艳
论文数:
0
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0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
周艳
.
中国专利
:CN222320176U
,2025-01-07
[10]
一种等离子体处理设备和等离子体处理方法
[P].
林英浩
论文数:
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0
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
林英浩
.
中国专利
:CN117894661A
,2024-04-16
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