一种半导体靶材用超高纯铜锰铸锭的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202211005696.8
申请日
2022-08-22
公开(公告)号
CN115338374B
公开(公告)日
2024-02-06
发明(设计)人
易骛文 姚力军 潘杰
申请人
宁波微泰真空技术有限公司
申请人地址
315412 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号(千人计划产业园内)(自主申报)
IPC主分类号
B22D7/00
IPC分类号
C22B9/00 C22C1/02 C22C9/05
代理机构
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人
徐浩
法律状态
授权
国省代码
浙江省 宁波市
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共 50 条
[1]
一种半导体靶材用超高纯铜锰铸锭的制备方法 [P]. 
易骛文 ;
姚力军 ;
潘杰 .
中国专利 :CN115338374A ,2022-11-15
[2]
一种超高纯铜锰合金溅射靶材的铸锭熔炼方法 [P]. 
杨文魁 ;
尚再艳 ;
张博厚 ;
吕保国 ;
朱孜毅 ;
张巧霞 ;
曾浩 ;
蒋媛媛 ;
滕海涛 ;
万小勇 .
中国专利 :CN117758087A ,2024-03-26
[3]
一种超高纯铜锰靶材的回收方法 [P]. 
易骛文 ;
姚力军 ;
潘杰 .
中国专利 :CN113151685B ,2021-07-23
[4]
一种超高纯铜靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
周友平 ;
慕二龙 ;
汪焱斌 .
中国专利 :CN114622175A ,2022-06-14
[5]
一种制备超高纯铜铸锭的方法 [P]. 
刘书芹 ;
李玉春 ;
尚再艳 ;
王欣平 ;
陈明 ;
丁照崇 .
中国专利 :CN101199988B ,2008-06-18
[6]
一种超高纯铜锰合金的熔炼工艺 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
郭廷宏 ;
孙银祥 .
中国专利 :CN115612872A ,2023-01-17
[7]
一种超高纯铜锰合金的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
慕二龙 ;
汪焱斌 .
中国专利 :CN113737011A ,2021-12-03
[8]
一种高纯铜锰合金铸锭及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
隋毅 ;
贺晓涛 ;
郭廷宏 .
中国专利 :CN121228019A ,2025-12-30
[9]
一种铜锰合金铸锭及其制备方法与应用 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
郭廷宏 ;
孙银祥 .
中国专利 :CN118531242A ,2024-08-23
[10]
一种高纯铜靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
章丽娜 ;
罗明浩 .
中国专利 :CN113817995A ,2021-12-21