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一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311419433.6
申请日：
2023-10-27
公开(公告)号：
CN117347382B
公开(公告)日：
2024-05-24
发明(设计)人：
张腾 郑明国
申请人：
珠海诚锋电子科技有限公司
申请人地址：
519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路一号2栋402E单元
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
代理机构：
广州汇航专利代理事务所(普通合伙) 44537
代理人：
黄健仪
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 珠海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-05-24 授权 授权
2024-01-23 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20231027
2024-01-05 公开 公开
共 50 条
[1]
一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法 [P]. 
张腾 ;
郑明国 .
中国专利 :CN117347382A ,2024-01-05
[2]
一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 [P]. 
唐轩波 ;
唐浩然 ;
易波 ;
段小平 .
中国专利 :CN119936058A ,2025-05-06
[3]
一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 [P]. 
唐轩波 ;
唐浩然 ;
易波 ;
段小平 .
中国专利 :CN119936058B ,2025-06-17
[4]
一种晶圆级检测装置及晶圆级检测方法 [P]. 
陈建发 ;
韩雨希 ;
程佳平 ;
王穗玲 ;
郝成龙 ;
谭凤泽 ;
朱健 .
中国专利 :CN119310103A ,2025-01-14
[5]
一种晶圆检测装置及检测方法 [P]. 
文斐 ;
孔德峰 ;
胡纯栋 ;
沈飊 ;
梁立振 ;
曹宏睿 ;
叶扬 ;
訾鹏飞 ;
屈浩 ;
谭名昇 ;
钱玉忠 ;
裴明雪 .
中国专利 :CN115015156A ,2022-09-06
[6]
晶圆检测装置及检测方法 [P]. 
李向东 ;
骆聪 ;
朱怡 ;
曹葵康 .
中国专利 :CN115372375A ,2022-11-22
[7]
一种晶圆检测装置及检测方法 [P]. 
文斐 ;
孔德峰 ;
胡纯栋 ;
沈飊 ;
梁立振 ;
曹宏睿 ;
叶扬 ;
訾鹏飞 ;
屈浩 ;
谭名昇 ;
钱玉忠 ;
裴明雪 .
中国专利 :CN115015156B ,2024-11-15
[8]
一种圆晶瑕疵检测装置 [P]. 
张伟 ;
张翔瑀 .
中国专利 :CN217466701U ,2022-09-20
[9]
晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P]. 
曹佳丰 ;
马旭 ;
靳凯强 .
中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14
[10]
一种检测平台及用于晶圆瑕疵检测方法 [P]. 
魏志忠 .
中国专利 :CN120044048A ,2025-05-27
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