一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510413235.1

申请日：

2025-04-03

公开(公告)号：

CN119936058B

公开(公告)日：

2025-06-17

发明(设计)人：

唐轩波唐浩然易波段小平

申请人：

深圳市三维机电设备有限公司

申请人地址：

518100 广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区库坑同富裕工业区101、201,8-2号厂房1-2层

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01 H01L21/66

代理机构：

北京启航嘉知识产权代理有限公司 16264

代理人：

陈伟斯

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	公开	公开
2025-06-17	授权	授权
2025-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250403

共 50 条

[1]

一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 [P].

唐轩波 ;

唐浩然 ;

易波 ;

段小平 .

中国专利 :CN119936058A ,2025-05-06

[2]

一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法 [P].

张腾 ;

郑明国 .

中国专利 :CN117347382B ,2024-05-24

[3]

一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法 [P].

张腾 ;

郑明国 .

中国专利 :CN117347382A ,2024-01-05

[4]

一种晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

朱琳琳 ;

尚伟朝 ;

周子涵 .

中国专利 :CN118629906A ,2024-09-10

[5]

晶圆检测用图像摄取装置及晶圆检测方法 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

韦俊丞 ;

朱松 ;

张怀东 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN117558658A ,2024-02-13

[6]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[7]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112735959A ,2021-04-30

[8]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

苏旭文 .

中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11

[9]

一种圆晶瑕疵检测装置 [P].

张伟 ;

张翔瑀 .

中国专利 :CN217466701U ,2022-09-20

[10]

晶圆辅助照明检测装置及晶圆检测方法 [P].

陈超 .

中国专利 :CN101452868A ,2009-06-10

← 1 2 3 4 5 →