硅片治具、治具托板组件及硅片加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322011894.1

申请日：

2023-07-28

公开(公告)号：

CN220456382U

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

贾立龙晏恒峰张元新姜波

申请人：

常州英诺激光科技有限公司

申请人地址：

213000 江苏省常州市武进区常武中路18-69号常州科教城英诺激光大厦3楼

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/67 B23K26/00

代理机构：

南京中高专利代理有限公司 32333

代理人：

金啸

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片治具 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

刘庆威 .

中国专利 :CN210640210U ,2020-05-29

[2]

硅片单面抛光治具 [P].

吴佳俊 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209461426U ,2019-10-01

[3]

硅片防摩擦治具 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

刘庆威 .

中国专利 :CN210640212U ,2020-05-29

[4]

硅片晶向斜切治具 [P].

宋玮 ;

贺贤汉 ;

肖尚青 ;

包胜娟 .

中国专利 :CN202862430U ,2013-04-10

[5]

托板治具 [P].

刘永优 ;

陈俊兴 .

中国专利 :CN209183603U ,2019-07-30

[6]

治具及治具组件 [P].

周群飞 ;

康建国 .

中国专利 :CN208961855U ,2019-06-11

[7]

硅片载具及加工设备 [P].

陈洪鑫 ;

朱太荣 ;

刘群 .

中国专利 :CN221166738U ,2024-06-18

[8]

治具组件和激光加工设备 [P].

蒋忠华 ;

刘鲁亭 ;

刘玉 .

中国专利 :CN213827523U ,2021-07-30

[9]

治具及激光加工设备 [P].

张庆礼 ;

张明荣 ;

杨龙 ;

吴文锋 ;

魏文 ;

李文顺 ;

张永 ;

李少荣 ;

谢圣君 ;

高云峰 .

中国专利 :CN216607615U ,2022-05-27

[10]

治具及激光加工设备 [P].

韦明丰 ;

杨建乐 ;

杨建林 ;

李建平 ;

徐兆华 ;

叶凯云 ;

盛辉 ;

周学慧 ;

杨勇 ;

张凯 .

中国专利 :CN220806029U ,2024-04-19

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