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一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311642082.5
申请日：
2023-12-04
公开(公告)号：
CN117346541B
公开(公告)日：
2024-01-26
发明(设计)人：
吕尊华
纪斌
冯于驰
申请人：
福建福碳新材料科技有限公司
申请人地址：
366011 福建省三明市永安市贡川水东园区15-1号
IPC主分类号：
F27D3/00
IPC分类号：
代理机构：
常州市天龙专利事务所有限公司 32105
代理人：
于雅洁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
福建省
三明市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):F27D 3/00申请日:20231204 |
| 2024-01-05 | 公开 | 公开 |
| 2024-01-26 | 授权 | 授权 |