一种全自动固晶加工设备及其加工方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311426983.0
申请日
2023-10-31
公开(公告)号
CN117153960B
公开(公告)日
2024-02-02
发明(设计)人
李婷 杨军 宋汉超
申请人
深圳平晨半导体科技有限公司
申请人地址
518172 广东省深圳市龙岗区坂田街道雪象社区上雪科技工业城北区8号B栋3-4楼
IPC主分类号
H01L33/00
IPC分类号
H01L21/67
代理机构
北京惟盛达知识产权代理有限公司 11855
代理人
陈钊
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
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