一种晶圆加工设备、晶圆加工方法及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811025346.1

申请日：

2018-09-04

公开(公告)号：

CN110875213A

公开(公告)日：

2020-03-10

发明(设计)人：

吴明锋

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21304 H01L2102 H01L21027

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180904
2020-03-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆加工设备 [P].

吴明锋 .

中国专利 :CN208706592U ,2019-04-05

[2]

晶圆加工方法、装置和晶圆加工设备 [P].

李长坤 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN115101448A ,2022-09-23

[3]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118024055A ,2024-05-14

[4]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221849586U ,2024-10-18

[5]

晶圆加工设备 [P].

李志卫 .

中国专利 :CN118866817A ,2024-10-29

[6]

一种晶圆加工设备及晶圆加工方法 [P].

陶为银 ;

蔡正道 ;

乔赛赛 ;

闫兴 .

中国专利 :CN115954295B ,2025-10-03

[7]

晶圆加工单元和晶圆加工设备 [P].

吴兴 ;

徐海洋 ;

夏佳琪 .

中国专利 :CN119458139A ,2025-02-18

[8]

晶圆承载装置、晶圆加工设备及晶圆加工设备的控制方法 [P].

万先进 ;

锁志勇 ;

朱松 ;

秦宝宏 ;

任倚萱 ;

魏兴亮 ;

熊泰贻 .

中国专利 :CN120341162A ,2025-07-18

[9]

晶圆定位方法与晶圆加工设备 [P].

高峰 .

中国专利 :CN115116919A ,2022-09-27

[10]

晶圆加工设备及晶圆输送方法 [P].

唐辉 .

中国专利 :CN114256126A ,2022-03-29

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