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一种碳化硅衬底的处理方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111446380.8
申请日：
2021-11-30
公开(公告)号：
CN113990750B
公开(公告)日：
2024-04-12
发明(设计)人：
吴昊 邓小川 廖征翔 李旭 李轩 张波
申请人：
电子科技大学
申请人地址：
611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
H01L21/324
代理机构：
成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232
代理人：
敖欢
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-12 授权 授权
共 50 条
[1]
一种碳化硅衬底的处理方法 [P]. 
吴昊 ;
邓小川 ;
廖征翔 ;
李旭 ;
李轩 ;
张波 .
中国专利 :CN113990750A ,2022-01-28
[2]
一种碳化硅衬底的处理方法 [P]. 
吴昊 ;
吴军民 ;
金锐 ;
汤广福 ;
潘艳 ;
邱宇峰 ;
田亮 ;
孙俊敏 ;
李晨 ;
吴斌 ;
齐向 .
中国专利 :CN111668088B ,2025-07-11
[3]
一种碳化硅衬底的处理方法 [P]. 
吴昊 ;
吴军民 ;
金锐 ;
汤广福 ;
潘艳 ;
邱宇峰 ;
田亮 ;
孙俊敏 ;
李晨 ;
吴斌 ;
齐向 .
中国专利 :CN111668088A ,2020-09-15
[4]
一种碳化硅表面的处理方法 [P]. 
吴昊 ;
李玲 ;
朱涛 ;
姜春艳 ;
刘瑞 ;
张红丹 ;
焦倩倩 ;
蔡依沙 .
中国专利 :CN111681943A ,2020-09-18
[5]
一种碳化硅表面的处理方法 [P]. 
吴昊 ;
李玲 ;
朱涛 ;
姜春艳 ;
刘瑞 ;
张红丹 ;
焦倩倩 ;
蔡依沙 .
中国专利 :CN111681943B ,2025-10-31
[6]
一种碳化硅表面的处理方法 [P]. 
吴昊 ;
邓小川 ;
成志杰 ;
李旭 ;
李轩 ;
张波 .
中国专利 :CN114188215A ,2022-03-15
[7]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
冲田恭子 ;
本家翼 ;
上田俊策 .
中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15
[8]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
冲田恭子 ;
本家翼 ;
上田俊策 .
日本专利 :CN114761628B ,2024-04-12
[9]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
本家翼 .
日本专利 :CN114026672B ,2025-03-11
[10]
制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P]. 
原田真 ;
佐佐木信 ;
西口太郎 ;
玉祖秀人 ;
并川靖生 .
中国专利 :CN102473594A ,2012-05-23
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