一种碳化硅衬底的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010345960.7

申请日：

2020-04-27

公开(公告)号：

CN111668088A

公开(公告)日：

2020-09-15

发明(设计)人：

吴昊吴军民金锐汤广福潘艳邱宇峰田亮孙俊敏李晨吴斌齐向

申请人：

申请人地址：

102209 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2916

代理机构：

北京安博达知识产权代理有限公司 11271

代理人：

徐国文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳化硅衬底的处理方法 [P].

吴昊 ;

吴军民 ;

金锐 ;

汤广福 ;

潘艳 ;

邱宇峰 ;

田亮 ;

孙俊敏 ;

李晨 ;

吴斌 ;

齐向 .

中国专利 :CN111668088B ,2025-07-11

[2]

一种碳化硅衬底的处理方法 [P].

吴昊 ;

邓小川 ;

廖征翔 ;

李旭 ;

李轩 ;

张波 .

中国专利 :CN113990750B ,2024-04-12

[3]

一种碳化硅衬底的处理方法 [P].

吴昊 ;

邓小川 ;

廖征翔 ;

李旭 ;

李轩 ;

张波 .

中国专利 :CN113990750A ,2022-01-28

[4]

一种碳化硅表面的处理方法 [P].

吴昊 ;

邓小川 ;

成志杰 ;

李旭 ;

李轩 ;

张波 .

中国专利 :CN114188215A ,2022-03-15

[5]

一种碳化硅表面的处理方法 [P].

吴昊 ;

李玲 ;

朱涛 ;

姜春艳 ;

刘瑞 ;

张红丹 ;

焦倩倩 ;

蔡依沙 .

中国专利 :CN111681943A ,2020-09-18

[6]

一种碳化硅表面的处理方法 [P].

吴昊 ;

李玲 ;

朱涛 ;

姜春艳 ;

刘瑞 ;

张红丹 ;

焦倩倩 ;

蔡依沙 .

中国专利 :CN111681943B ,2025-10-31

[7]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403B ,2025-09-05

[8]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403A ,2022-12-09

[9]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15

[10]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

日本专利 :CN114761628B ,2024-04-12

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