一种工艺衬底载具的清洗装置及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311436987.7

申请日：

2023-11-01

公开(公告)号：

CN117358713A

公开(公告)日：

2024-01-09

发明(设计)人：

夏庆锋黄如伟袁刚

申请人：

中科研和（宁波）科技有限公司

申请人地址：

315000 浙江省宁波市镇海区庄市街道西陆路288号萌恒大厦北楼7楼

IPC主分类号：

B08B9/20

IPC分类号：

B08B7/00 B08B13/00

代理机构：

宁波甬致专利代理有限公司 33228

代理人：

胡天人

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-09	公开	公开
2024-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 9/20申请日:20231101
2025-05-16	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):B08B 9/20申请公布日:20240109

共 50 条

[1]

研磨载具清洗装置及研磨载具清洗方法 [P].

贺云鹏 ;

赵晟佑 .

中国专利 :CN111451938B ,2020-07-28

[2]

衬底清洗装置及衬底清洗方法 [P].

前田幸次 ;

矶部壮一 ;

下元博 ;

田中英明 .

中国专利 :CN103769376A ,2014-05-07

[3]

衬底清洗装置及衬底清洗方法 [P].

冈田吉文 .

中国专利 :CN114203586A ,2022-03-18

[4]

电芯载具清洗装置及清洗方法 [P].

张波 ;

王国钰 ;

俞森山 .

中国专利 :CN118080405B ,2024-07-16

[5]

电芯载具清洗装置及清洗方法 [P].

张波 ;

王国钰 ;

俞森山 .

中国专利 :CN118080405A ,2024-05-28

[6]

衬底清洗方法及清洗装置 [P].

王晖 ;

王希 ;

陈福平 ;

陈福发 ;

王坚 ;

张晓燕 ;

金一诺 ;

贾照伟 ;

王俊 ;

李学军 .

中国专利 :CN109791899A ,2019-05-21

[7]

载具及载具清洗设备 [P].

刘才言 ;

粟叶辉 ;

顾本亮 .

中国专利 :CN223717875U ,2025-12-26

[8]

载具及载具清洗设备 [P].

刘才言 ;

粟叶辉 ;

顾本亮 .

中国专利 :CN223717874U ,2025-12-26

[9]

半导体衬底的清洗方法及清洗装置 [P].

张晨膑 ;

叶斐 ;

刘红兵 ;

张志清 ;

黎敬 ;

陈猛 .

中国专利 :CN120432380A ,2025-08-05

[10]

一种等离子清洗装置及清洗方法 [P].

邱小清 ;

杨立 ;

陈龙云 ;

李健城 .

中国专利 :CN119972657A ,2025-05-13

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