基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410208941.8

申请日：

2024-02-26

公开(公告)号：

CN118068656A

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

宋法质武霭辰孙鹏宇董岳刘杨谭久彬

申请人：

哈尔滨工业大学

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206

代理人：

王新雨

法律状态：

公开

国省代码：

山东省威海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	公开	公开
2024-10-18	授权	授权
2024-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240226

共 50 条

[1]

基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法 [P].

宋法质 ;

武霭辰 ;

孙鹏宇 ;

董岳 ;

刘杨 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN118068656B ,2024-10-18

[2]

具有模型不确定性的下肢康复外骨骼的控制方法及系统 [P].

樊渊 ;

陈军 ;

邱剑彬 ;

宋程 .

中国专利 :CN109256189B ,2019-01-22

[3]

加入CMAC不确定性补偿的Delta机械手控制方法 [P].

彭志文 ;

朱鹏 .

中国专利 :CN114460845A ,2022-05-10

[4]

一种不确定性动态系统的PID控制方法 [P].

许超 ;

陈嵩 .

中国专利 :CN115167110B ,2025-01-07

[5]

直驱电机系统的模型不确定性补偿的滑模控制方法 [P].

刘龙 ;

姚建勇 ;

胡健 ;

罗成洋 .

中国专利 :CN105093935A ,2015-11-25

[6]

卫星姿态控制系统执行器驱动符号不确定性的自适应补偿方法 [P].

马亚杰 ;

姜斌 ;

陶钢 ;

程月华 .

中国专利 :CN104950900A ,2015-09-30

[7]

基于不确定性离散模型的液压活套鲁棒模糊控制方法 [P].

陈金香 ;

于立业 .

中国专利 :CN102944994B ,2013-02-27

[8]

液压位置伺服系统的不确定性补偿的滑模控制方法 [P].

姚建勇 ;

刘龙 ;

邓文翔 .

中国专利 :CN104698844A ,2015-06-10

[9]

基于不确定性补偿的燃烧室热声震荡模型预测控制方法 [P].

孙立 ;

陈卓 ;

苏志刚 .

中国专利 :CN113359441B ,2021-09-07

[10]

基于主动不确定性抑制的混合动力汽车电气层控制方法 [P].

薛刘朋 ;

张传林 ;

李辉 ;

贺帅鹏 ;

黄瑶妹 .

中国专利 :CN105932878A ,2016-09-07

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