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晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110732627.6
申请日：
2021-06-30
公开(公告)号：
CN113539918B
公开(公告)日：
2024-05-17
发明(设计)人：
李幸夫
王锐廷
赵宏宇
南建辉
杨斌
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-17 | 授权 | 授权 |